陈立新略微想了想,摆手,“这个已然确定的事项,不能轻易变动,再说了,我看今年江总不也是获奖对象嘛!”
“至于EUV光刻机,留着明年。也正好看看他的实际效果。”
毕竟是高精尖的科技成果,陈立新比较谨慎。
并没有因为现在看一看,专家评一评,就直接确定。
如今只能说是入选,倘若在实际生产线上,能够表现良好,按照预期制造更高制程的芯片,那么再来论功行赏也未尝不可。
江奕辰嘴角有笑,“我也获奖了啊?”
此前只是听到风声,没有想到工业部长嘴里说出来。
那便是板上钉钉了。
倒是不知道是什么技术获奖的。
陈立新爽朗一笑,“我记得你有两个名字,华科院好几位院士都向我提过你,说你科研能力极强,未来会是最年轻的院士。”
江奕辰老脸有些红,“大家对我过誉了,期望也太高了,受之有愧。”
“不,今天过来看了你们研发的EUV光刻机,我觉得他们并没有说错。”陈立新感慨不已,“我经常说,科研一道,不论资排辈,就看科研水平、科研成绩。”
“小江,你值得给予更高更大的平台,去实现自己的人生价值,也为华国科技发展提供强劲助力。”
这是非常重的期盼。
江奕辰感觉肩膀有些沉重,“部长,您放心,我将尽我所能。”
又聊了一会,专家组纷纷结束了评测,凑了过来。
“简直不可思议!”
“是啊,这种光源激发方式,我们听过,但没有想到有这么巧妙的实现办法。”
“我们检测了芯片制程,单次曝光就达到了25nm!”
“有这么好的曝光精度,芯片制程可以轻易实现14nm,甚至等效7nm、5nm,3nm都不无可能!”
众所周知,芯片制程达到14nm之后,后续的7nm一类,均是等效。
“而且,你们注意到没有,这台光刻机的稳定性也非常出色。”一位专家补充道,“在连续多批次的测试中,它的曝光均匀性和线宽控制都保持了极高的水准,这对于提高芯片生产的良品率至关重要。”