看到会场内的气氛逐渐向龙国一方倾斜,许志远知道,是时候揭开芯片数控系统和光刻机背后真正的技术秘密了。
他走到讲台中央,调整了一下麦克风,目光扫视着台下的代表们,语气依旧平静,但每一句话都充满了力量。
“各位代表,今天的演示只是结果,但科学的核心在于过程。
在研发芯片数控系统和光刻机的路上,我们遇到了无数困难,但正是这些困难,磨砺了我们的创新能力。
接下来,我将向大家介绍一些我们团队在研发过程中克服的技术难题,以及我们独特的技术创新点。”
大屏幕再次亮起,展示了一系列复杂的技术图表和研发流程图。
许志远指向屏幕上的光刻机剖面图,开始详细讲解:“在光刻机的研发中,最关键的环节是光源系统、光学投影系统和掩膜版制造技术。没有这些,光刻机就是一台昂贵的摆设。”
“为了实现248纳米的深紫外波长,我们团队开发了一种新型激光器。
这种激光器的稳定性是研发的最大难点,因为哪怕光源波动只有千分之一,也会导致刻蚀失败。
经过数百次实验,我们最终通过一种新的气体混合技术,让激光器的稳定性提高了30%。”
“光学投影系统是光刻机的‘眼睛’,它需要将掩膜版上的电路图形以亚微米级精度投影到晶圆上。
这里,我们使用了多组高精度光学透镜,并通过自研的非球面加工技术,将透镜表面误差控制在0.05微米以内。”
“掩膜版的制造同样是一项极具挑战的技术。为了避免电路图形的边缘模糊,我们设计了一种纳米级镀膜工艺,确保掩膜版的线条宽度误差不超过9纳米。”
台下的支持派代表们听到这里,忍不住交头接耳。
一位汉斯代表惊叹道:“这已经是顶尖的技术水准了!我们自己的光刻机还在解决透镜稳定性的问题,他们居然已经做到这种程度?”
瑞士代表则低声说道:“他们的光刻机不仅可行,还有独特的技术创新点,这绝不是简单的模仿。”